真空ポンプの基本

真空ポンプとは、密封された容器内の気体を排出して内部を真空にするための装置です。気体を吸入する「吸気口」、真空ポンプ内部に吸入した気体を外部に排出する「排気口」、「ポンプ」によって構成され、空気を排出する基本構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプに大別されます。

真空ポンプとして一般的なロータリーポンプ(油回転型真空ポンプ)はウェットポンプの一種で、排気量、到達圧力、価格などの面で総合的に優れています。この他、ウェットポンプとしては油拡散式などがあります。

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプで、半導体の製造プロセスのように、僅かな蒸気の混入でも製品の歩留まりに影響が出てしまう電子・半導体産業分野で使用されています。

真空ポンプは原理、使用圧力によっても分類され、必要とする真空度、排気量、また排気する気体の成分などによって、使用する真空ポンプの形式を選択することになります。

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