真空ポンプの到達真空度とパッキング

真空ポンプの到達真空度はもちろんその種類によって大きく異なりますが、意外に見落としがちなのが真空系統のパッキングです。このパッキングをおろそかにすると、どんなに到達真空度の高いポンプを用いても真空がリークしてしまったり、真空雰囲気が汚染されてしまうからです。

高真空・超高真空を扱う装置の場合、部品を接合する部分には、ガス吸着が比較的少なくて適度な柔軟性のある銅やアルミ製のガスケットを挿入し、その上からボルトなどで締め付けます。ガラス製の真空筒と金属の継ぎ目には、アルミやゴムパッキングが用いられます。

このパッキングの種類によって、ガラス真空筒内部の真空度が大きく違って来ます。油拡散ポンプで比較した場合、新品で非熱処理のままのネオプレンゴムで封じた場合と、熱処理したネオプレンゴムで封じた場合を比較しますと、到達真空度は後者の方が1桁以上高くなります。しかも、この熱処理したネオプレンは、アルミパッキングよりも高い真空度を確保でき、パッキングには弾性変形する材料が極めて有効であることが理解できます。

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